無塵室清潔無塵室是一個為了對空間內空氣中的微粒做控制,所建造的特殊封閉性建築。一般而言,無塵室也會對溫溼度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做控制,無塵室依等級的不同,對一定空間內的微塵粒子最大容許量亦有一定規範,無塵室較一般清潔之潔靜度要高因此清潔完成需使用落塵儀器來檢測。將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分佈之情形及速度,控制於一定範圍內之空間。此處所指之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及
粒子,且指一般空氣清淨機無法完全清除之灰塵。
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